一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201510548168.0	申请日	2015/8/31
公开（公告）号	CN106486336B	授权公告日	2019/1/4
主分类号	H01J49/04	分类号	H01J49/04; H01J49/26; G01N27/62
申请号	CN201510548168.0	专利类型	发明
发明（设计）人	张丽华; 朱旭东; 蒋好; 梁玉; 杨开广; 梁振; 张玉奎
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及一种新型氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法。具体地说是将毛细管欲刻蚀位置的聚合物涂层去除，然后将该毛细管固定于设计的装置(图1)，加入一定体积氢氟酸对毛细管进行刻蚀，直至毛细管刻蚀断裂。氢氟酸的挥发作用以及与石英表面的亲和作用，使石英毛细管刻蚀部位形成锥形面。该方法能够广泛应用于质谱电喷针、基因工程显微注射针等需要控制外径及锥面的石英材料的制备。