氧碘化学激光器光学谐振腔调节与监控系统及方法-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201410143863.4	申请日	2014/4/11
公开（公告）号	CN104979742B	授权公告日	2018/1/16
主分类号	H01S3/00	分类号	H01S3/00
申请号	CN201410143863.4	专利类型	发明
发明（设计）人	马艳华; 刘嵚; 张增宝; 张治国; 何鑫; 石文波; 房本杰; 金玉奇
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及氧碘化学激光器光学谐振腔调节与监控系统及方法，包括：主控模块、算法模块、数据采集模块、电机控制模块、数字I/O模块、电机驱动数字I/O模块、通讯模块、显示单元和电源模块；方法包括主控模块实时采集压力传感器的腔内压力数据并显示，判断采集腔内压力数据是否超出光腔内压力允许范围；算法模块根据光腔内压力数据发送指令给数字IO模块进而控制电磁阀开关实现压力调节；通过显示单元发送控制信号给电机控制模块进而控制腔镜的X方向和Y方向的电机进行调节，并实时监测电机运行状态。本发明具有实时性强、稳定性高、操作简单、开发成本低等优点，特别适用于氧碘化学激光器的光学谐振腔中。