一种原子力显微镜和表面光电压谱联用方法-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201410617526.4	申请日	2014/11/5
公开（公告）号	CN105629079B	授权公告日	2019/2/1
主分类号	G01Q60/24	分类号	G01Q60/24
申请号	CN201410617526.4	专利类型	发明
发明（设计）人	李灿; 朱剑; 范峰滔; 安虹宇; 陈若天
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及一种原子力显微镜和表面光电压谱联用方法，用于测量半导体表面微区的表面光电压谱，解决表面光电压谱不具备空间分辨能力的特点，原子力显微镜和光谱仪是通过斩波器调制可变光波长信号、表面电势变化结合锁相放大器进行联用的，可以给出半导体微区的表面光电压谱和相位角分辨谱图。