一种在线超纯氢分析装置-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201320834852.1	申请日	2013/12/15
公开（公告）号	CN203606329U	授权公告日	2014/5/21
主分类号	G01N30/02	分类号	G01N30/02
申请号	CN201320834852.1	专利类型	实用新型
发明（设计）人	徐恒泳; 孟繁琼; 唐春华; 董恩宁; 邵炜
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本实用新型公开了一种在线超纯氢分析装置，该装置包括样品气切换阀、切换进样阀、进样阀、分析色谱柱、检测器等组成，可以对超纯氢生产过程中的原料气和产品气同时进行在线分析，检测范围大，可以覆盖从常量检测、微量检测到ppb级的痕量检测。本装置自动化程度高、检测范围大、灵敏度高，在超纯氢生产中可对产品气杂质含量和原料气含量进行同时在线分析。