基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201721737016.6	申请日	2017/12/13
公开（公告）号	CN207763824U	授权公告日	2018/8/24
主分类号	G01J1/42	分类号	G01J1/42; G01J11/00
申请号	CN201721737016.6	专利类型	实用新型
发明（设计）人	李钦明; 余永; 杨家岳; 丁洪利; 张未卿; 杨学明
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本实用新型公开了基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置，所述测量装置包括：真空件，离子传输系统，离子位置探测器，光学传输系统，图像采集系统，数据处理系统。本实用新型可以通过改变气体种类，在线式测量真空紫外光的横向分布。通过选取不同的气体种类可以保证测量信号保持在最佳范围，同时因为离子探测器的灵敏度很高，而且不受外界电磁信号和机械振动的影响，可以获得非常高的测量精度。