一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201210204296.X	申请日	2012/6/20
公开（公告）号	CN103505980B	授权公告日	2016/4/27
主分类号	B01D53/04	分类号	B01D53/04
申请号	CN201210204296.X	专利类型	发明
发明（设计）人	郭庆; 任泽峰
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法，采用以下方法：将抽真空设备接入外部的真空容器，通过真空泵抽气，检漏无漏点；利用外部加热的方式烘烤抽真空设备和外部的真空容器，达到超高真空要求，依次向液氮薄壁桶注入液氮，待液氮薄壁筒和无氧铜套温度恒定后(～-180℃)；使用钛升华泵90秒，稳定约半小时，可实现真空腔室真空≤15×10-13torr。本发明的优点是操作简便，成本低，效率高。