一种真空紫外激光绝对能量测量装置-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201310691252.9	申请日	2013/12/13
公开（公告）号	CN104713642B	授权公告日	2017/1/25
主分类号	G01J1/42	分类号	G01J1/42; G01J11/00
申请号	CN201310691252.9	专利类型	发明
发明（设计）人	汪涛; 肖春雷; 张未卿; 吴国荣; 戴东旭; 杨学明
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及一种能测量真空紫外激光的绝对能量数值的装置，属于光电技术领域。本发明包括密闭容器及其阀门，所述密闭容器中充有目标气体，所述阀门用于控制所述密闭容器的进气量；所述密闭容器中设有：第一杯状电极，通过皮安计连接电源正极；杯状加速电极，中间开孔，开口与所述第一杯状电极的杯口相对；屏蔽桶，接地，为圆柱状，中心轴位置开孔，且孔与所述杯状加速电极的孔相对；第二杯状电极，通过皮安计接地，杯口与所述屏蔽桶的开口相对。本发明可以实时测量真空紫外的绝对能量，是一种完全‘透明’的装置，在测量能量时不影响后端的激光使用，而且对激光的位置漂移有一定的忍耐度。