一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201720045882.2	申请日	2017/1/16
公开（公告）号	CN206410784U	授权公告日	2017/8/15
主分类号	G01J1/42	分类号	G01J1/42
申请号	CN201720045882.2	专利类型	实用新型
发明（设计）人	李钦明; 杨家岳; 丁洪利; 陶凯; 张未卿; 杨学明
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本实用新型公开了一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪，包括真空腔体(1)、金属光强衰减装置(2)、光电二极管基座(3)、光电二极管(4)、真空引线装置(5)、直流稳压电源(6)、测量电路单元(7)和示波器(8)，金属光强衰减装置置于光电二极管之前，光电二极管安装在光电二极管基座上，金属光强衰减装置、光电二极管基座和光电二极管置于真空腔体中；用真空引线装置把光电二极管两个引脚信号引出真空腔体外；两个引脚信号接入测量电路单元信号输入端，直流稳压电源输出接入测量电路单元直流输入端，测量电路单元的信号输出端接一示波器。本实用新型通过改变金属光强衰减装置档位和偏压大小，绝对测量纳焦至毫焦级脉冲真空紫外光强度。