多通路定量气体流量控制装置-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201410589409.1	申请日	2014/10/28
公开（公告）号	CN105573353B	授权公告日	2018/4/24
主分类号	G05D7/06	分类号	G05D7/06
申请号	CN201410589409.1	专利类型	发明
发明（设计）人	刘宇时; 陈文武; 王景龙; 许晓波; 刘振东; 柯长春
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明公开了一种用于多种不同定量气体流量控制装置，该装置设置在气体供给管路中间；所述多种定量气体流量控制装置包括出气口、调节螺母、弹簧、限位罩、O型圈、气体分配腔、滑动轴、文氏管、文氏管压帽、进气口、分配腔法兰、密封垫、分配腔对接法兰、螺栓、螺母、测压管、进气腔部件构成。依靠流量开关控制气体通过不同文氏管的路径，从而定量控制气体流量大小；适用于气体供给不同阶段需要改变定量气体流量的试验应用。