一种四棱镜镀膜时的装夹方法-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201410719272.7	申请日	2014/12/2
公开（公告）号	CN105714263B	授权公告日	2018/7/31
主分类号	C23C14/50	分类号	C23C14/50
申请号	CN201410719272.7	专利类型	发明
发明（设计）人	龚选香; 李刚; 邓淞文
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及一种光学四棱镜镀膜时的装夹方法。该方法包括主盘、棱镜、角度互补块三个部分。主盘上开设有一个形状和尺寸与棱镜下表面相同的通孔，于通孔内壁面上设有用于承载四棱镜和角度互补块的凸台；角度互补块的角度及尺寸设计与棱镜的角度及尺寸保持互补，装夹时，棱镜与角度互补块拼接，一起放入主盘，最后整体装入镀膜机行星夹具即可。该方法可做到一套夹具(一个主盘，三个角度互补块)镀四棱镜的四个面，且镀膜后各个面无膜料衍射，提高了膜层质量，提升了产品品质，减少了夹具投入。该方法适用于各种类型棱镜镀膜时的装夹。该方法使用简单，操作方便，节约夹具成本且有效解决了棱镜斜面镀膜时的装夹难题。