一种抛光机用调速调压压头-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201410754055.1	申请日	2014/12/10
公开（公告）号	CN105729269B	授权公告日	2017/10/20
主分类号	B24B13/00	分类号	B24B13/00
申请号	CN201410754055.1	专利类型	发明
发明（设计）人	贾勇; 刘顺福; 张杰; 李刚; 孙龙
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及一种新型的抛光机用调压调速压头。从抛光过程的自转转速和抛光压力两方面考量，设计了一种调压调速压头，实现了抛光过程的压力和转速可调，并对机床振动有一定的缓冲效果。该压头可以方便的利用一个转接头安装在现有抛光机上工作，将不可控的工件自转转化为一个可以自由调节的工艺参数，并能实现对抛光压力的自由调节。该发明有利于摸索光学抛光过程的规律参数，有助于开展确定性抛光工作；并能有效改善抛光去除率函数曲线，对抛光的精度和效率有显著贡献。