采用紫外或深紫外激光源的高空间分辨光发射电子显微镜-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201010567093.8	申请日	2010/11/30
公开（公告）号	CN102479652B	授权公告日	2016/3/16
主分类号	H01J37/26	分类号	H01J37/26; H01J37/02
申请号	CN201010567093.8	专利类型	发明
发明（设计）人	傅强; 金立; 谭大力; 慕仁涛; 包信和
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及采用紫外或深紫外激光源的高空间分辨光发射电子显微镜，包括紫外或深紫外激光器、光发射电子显微镜PEEM，紫外或深紫外激光器发射的激光光路垂直入射到PEEM的样品台。在于将能量高于5eV的固定波长或连续波长的(深)紫外激光施用于光发射电子显微镜；通过激光与PEEM连接系统将激光以一种独特的垂直入射样品表面的方式激发固体表面光电子；采用电子光学系统将表面光发射电子成像从而获得表面图像信息；应用深紫外激光研究固体表面上的动态过程，包括表面化学反应和表面生长过程，实现表面动态过程的高空间分辨、原位实时的研究和观察。