一种用于深紫外激光器与光发射电子显微镜连接的连接杆-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201010566892.3	申请日	2010/11/30
公开（公告）号	CN102479651B	授权公告日	2014/5/28
主分类号	H01J37/15	分类号	H01J37/15; H01J37/26
申请号	CN201010566892.3	专利类型	发明
发明（设计）人	包信和; 慕仁涛; 谭大力; 金立; 傅强
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及一种用于深紫外激光器与光发射电子显微镜连接的连接杆，包括径向截面为圆筒形的连接杆体，硬磁体环、光学元件、软磁体材料的不锈钢滑块；硬磁体环穿套于连接杆体的外部，硬磁体环的内圈为圆形、并与连接杆体同轴；于连接杆体的内部与硬磁体环相对应的位置处设有光学元件，光学元件为透镜，透镜的主光轴与连接杆体同轴；不锈钢滑块为圆环形，不锈钢滑块与光学元件相固接，并与连接杆体同轴设置。将CaF2聚光镜置于光学组件中，运用此连接装置，实现了波长为177.3nm的深紫外激光光路的调节并将激光有效地聚焦到PEEM系统中的样品表面。