微型质谱仪中空心阴极放电真空紫外光电离源-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN200910265445.1	申请日	2009/12/29
公开（公告）号	CN102103971B	授权公告日	2012/11/7
主分类号	H01J49/16	分类号	H01J49/16
申请号	CN200910265445.1	专利类型	发明
发明（设计）人	侯可勇; 花磊; 吴庆浩; 崔华鹏; 李海洋
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明公开了一种微型质谱仪中空心阴极放电真空紫外光电离源，电离室中以圆筒状电极作为空心放电阴极，以金属圆状电极作为放电的阳极，电离得到的离子通过离子漏斗直接引入到质谱分析器。放电区冲入惰性气体，保持放电区处于50～200Pa之间，空心阴极放电区域末端及空心阴极末端使用了氟化镁玻璃有效透过真空紫外光。离子漏斗区直接与放电发光区相接，样品从放电区后端进入，在离子漏斗区里面电离，电离得到的离子直接通过离子漏斗压缩进入到质谱分析器。空心阴极放电产生的大光斑紫外光束可以在大范围内电离样品，而离子漏斗可以现在空间内离子的缩束聚焦，两者结合，可以有效提高光子利用率，增强仪器灵敏度。