一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201220664219.8	申请日	2012/12/5
公开（公告）号	CN202948899U	授权公告日	2013/5/22
主分类号	H01J49/06	分类号	H01J49/06; H01J49/04
申请号	CN201220664219.8	专利类型	实用新型
发明（设计）人	李海洋; 赵无垛; 陈平; 花磊; 陈文东
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本实用新型公开了一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置，主要由离子聚焦透镜，skimmer电极和离子传导透镜组成。离子聚焦透镜对电离区的离子进行收集并聚焦通过skimmer电极。在传导透镜的作用下，经过skimmer的离子被调节后传输到真空室。skimmer电极的小孔不仅对进入电离区的离子进行了筛选，同时使电离区筒上端和下端的气压相差1~3个数量级，提高了仪器的灵敏度。