一种用于减缓灯窗表面污染的装置-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201310694073.0	申请日	2013/12/15
公开（公告）号	CN104716012B	授权公告日	2017/2/15
主分类号	H01J49/16	分类号	H01J49/16; H01J49/22
申请号	CN201310694073.0	专利类型	发明
发明（设计）人	李海洋; 李金旭; 赵无垛; 齐国臣; 刘巍
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明公开了一种基于减缓灯窗表面污染的装置，包括灯窗、侧向偏转电极、推斥电极、聚焦电极，skimmer电极。其中，侧向偏转电极是由相对设置的电极A和电极B构成。在VUV灯照射下，进入电离区的样品分子被电离成正离子、负离子和电子。由于聚焦电极和推斥电极上施加有电压，在电场的作用正、负离子分别向skimmer电极和VUV灯窗运动。由于电极A和B上施加有不同的电压，进入偏转电极内部的离子会被偏转到两侧，无法轰击到灯窗表面，从而减缓灯窗表面的污染对灯窗起到了保护作用。