一种真空紫外灯的射频电离激发装置-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201420732503.3	申请日	2014/11/27
公开（公告）号	CN204204795U	授权公告日	2015/3/11
主分类号	H01J49/10	分类号	H01J49/10; H01J49/16
申请号	CN201420732503.3	专利类型	实用新型
发明（设计）人	李海洋; 李林; 刘骥巍
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本实用新型涉及一种真空紫外灯的射频电离激发装置，真空紫外灯腔体中充有惰性气体，通过该电离激发装置将惰性气体电离击穿后，透过光窗会发出特定波长的光。本实用新型设计的电离激发装置体积小巧、结构紧凑，适合于用作离子迁移谱仪中真空紫外灯电离源的电离激发。