一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201520857619.4	申请日	2015/10/30
公开（公告）号	CN205177771U	授权公告日	2016/4/20
主分类号	H01J49/04	分类号	H01J49/04
申请号	CN201520857619.4	专利类型	实用新型
发明（设计）人	李京华; 渠团帅; 仓怀文; 李东明; 邸尚华; 李海洋
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块，该三通模块包括：进气孔道、出气孔道A和出气孔道B构成的三通且有一个共同的连接端口，即进气孔道的出口分别与出气孔道A和出气孔道B的进口相连接，进气孔道的内径大于出气孔道A的内径，出气孔道A的内径大于出气孔道B的内径。进气孔道远离连接端口的另一端口对应的为进气口，出气孔道A远离连接端口的另一端口对应的为出气口A，出气孔道B远离连接端口的另一端对应的为出气口B，气体从进气口进入三通，从出气口A和出气口B流出三通模块。本实用新型可以提供稳定而按比例分配的气体流量。