一种电子枪-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201510144815.1	申请日	2015/3/30
公开（公告）号	CN106158572B	授权公告日	2018/2/16
主分类号	H01J49/10	分类号	H01J49/10
申请号	CN201510144815.1	专利类型	发明
发明（设计）人	雷鑫; 江凌; 赵志; 张冰冰; 杨学明
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明公开了一种电子枪，属于离子源领域，电子发射机构包括阴极灯丝、阳极对电极及阳极挡板电极，阴极灯丝安装在阳极对电极的一侧，阳极对电极的另一侧与加速聚焦机构的一侧绝缘连接，加速聚焦机构的另一侧与偏转机构的一侧绝缘连接，阳极挡板电极位于偏转机构的另一侧；加速聚焦机构包括聚焦电极板及多个聚焦筒，偏转机构包括调节所述电子束强度的上、下部偏转电极板，各聚焦筒绝缘连接，连接后的一端与阳极对电极绝缘连接、且该端与聚焦电极板接触，另一端分别与上、下部偏转电极板绝缘连接；阳极对电极及聚焦电极板上均开有供电子束通过的孔。本发明可以调节电子束的束斑大小、位置及电子束强度，使电子束与中性粒子束的碰撞空间增大。