一种氟化氢激光器光栅非稳腔的调节装置-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201410720014.0	申请日	2014/12/2
公开（公告）号	CN105720471B	授权公告日	2018/11/2
主分类号	H01S3/081	分类号	H01S3/081; H01S3/105
申请号	CN201410787297.0	专利类型	发明
发明（设计）人	王元虎; 多丽萍; 金玉奇; 唐书凯; 李国富; 于海军; 李留成; 汪健; 曹靖; 康元福
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明涉及一种氟化氢激光器光栅非稳腔的调节装置，该装置包括氦氖激光器、半导体导引光激光器、窄带滤光片、光阑、偏振器、半波片、全反射镜、闪耀光栅、四分之一、布儒斯特片、凸面反射镜、离轴聚焦反射镜、剪切干涉仪、三维电移台、电动旋转台、五维电移台。利用闪耀光栅对氟化氢激光一级衍射角度与导引激光四级衍射角度相同、闪耀光栅对不同波长激光的零级衍射角度相同的特点，使用半导体导引激光对氟化氢激光器的谐振腔进行调节。其调节简单有效，能够实现光栅选线氟化氢激光器谐振腔的精密调节。