一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201210438752.7	申请日	2012/11/6
公开（公告）号	CN102975318B	授权公告日	2015/3/4
主分类号	B29C39/02	分类号	B29C39/02; B29C33/38; B01L3/00
申请号	CN201210438752.7	专利类型	发明
发明（设计）人	秦建华; 马静云; 姜雷; 张旭
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法，步骤包括：通过标准光刻法制备的交联态SU-8阳模与液态PDMS夹合，PDMS固化后，得到反转有阳模图案的阴模PDMS；将阴模PDMS与固态未交联SU-8光刻胶夹合，真空烘箱加热使光刻胶呈流动态充满PDMS通道，得到未交联态的SU-8阳模；对该未交联SU-8阳模选择性曝光，使其局部交联得到方形突起部分；将该阳模加热一定时间，未交联突起部分呈弧形；经全曝光交联反应、后烘、坚模得到定型的SU-8方形、弧形阳模；浇筑以PDMS、固化、脱模得到含有方形、弧形通道的PDMS芯片。本发明制作的芯片应用于集成气动微阀的微流控芯片液路层制备；本发明制备的SU-8阳模不易从基片上脱落，PDMS芯片弧形通道弧度可控，为复杂芯片制备提供了一种简单稳定的制备方法。