一种简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法及应用-国家洁净能源知识产权运营中心

专利号	CN201210470418.X	申请日	2012/11/20
公开（公告）号	CN102967890B	授权公告日	2015/3/11
主分类号	G02B3/00	分类号	G02B3/00; G03F7/00; G03F7/20
申请号	CN201210470418.X	专利类型	发明
发明（设计）人	秦建华; 姜雷; 朱国丽
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所
摘要：一种简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法及应用，采用光刻方法设计好的图形在SU8光刻胶上曝光，然后采用显影液进行显影，控制显影时间，使未曝光的SU8光刻胶部分去除；然后将其置于烘箱内进行烘烤，使其底部呈圆弧状；取出降至室温后，进行二次曝光，使SU8完全固化，便制成用于制作PDMS聚合物透镜的模板；将未固化后的PDMS聚合物溶液倒入上述的模板上，加热固化PDMS聚合物溶液，剥离PDMS芯片便制成PDMS聚合物透镜阵列；制备成的PDMS透镜可以用于光学成像等应用；本发明方法具有操作简单、快速，实验成本低廉，可与其它技术集成等优点。