一种用于离子迁移谱进样器的进样薄片
一种快速自准直反射镜自适应振动抑制跟踪控制方法
专利号 CN201410161280.4 申请日 2014/4/21
公开(公告)号 CN105022409B 授权公告日 2017/8/25
主分类号 G05D3/12 分类号 G05D3/12
申请号 CN201410161280.4 专利类型 发明
发明(设计)人 马艳华; 张增宝; 刘嵚; 张治国; 何鑫; 王麟; 金玉奇
申请(专利权)人 中国科学院大连化学物理研究所
摘要:本发明涉及一种快速自准直反射镜自适应振动抑制跟踪控制方法,属非线性系统振动控制领域。包括通过FX‑RLS前馈控制器和FX‑RLS反馈控制器对参考信号与扰动信号非全相关的情况进行振动主动控制;比例积分控制器用来改善系统的稳定性和鲁棒性,并对初始光束漂移进行校正;快速迟滞补偿器补偿快速自准直反射镜中存在的动态迟滞非线性。FX‑RLS前馈控制器、FX‑RLS反馈控制器和比例积分控制器并联后与快速迟滞补偿器串联,产生的控制信号经功率放大器输出至快速自准直反射镜中的驱动器,使镜面发生转动从而调节激光光束的反射角度,达到对输出光束的实时稳定控制。本发明具有实时性强、稳定性高、高精度控制的优点,实现了快速自准直反射镜在振动环境中对光束的稳定跟踪控制。

 
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